3D-измерительная система для полупроводников Cobekk AG200
Автоматизированная 3D-система Cobekk AG200 предназначена для прецизионного контроля полупроводниковых компонентов, подложек и микроэлектронных сборок. Она сочетает высокоскоростные оптические измерения с бесконтактной метрологией, обеспечивая полный 3D-анализ геометрии, толщины, плоскостности и рельефа поверхностей с нанометровой точностью.
Система оснащена двигательными осями с воздушной подвеской, лазерными интерферометрами и адаптивным освещением, что позволяет проводить измерения в чистых помещениях без вибрационных помех. Гибкая архитектура и специализированное ПО позволяют адаптировать AG200 под задачи контроля фотошаблонов, кремниевых пластин, микрооптики и MEMS-структур.
Идеально подходит для научно-исследовательских центров, производств полупроводников и лабораторий, где требуется максимальная точность, автоматизация измерений и соответствие отраслевым стандартам.
Применение: Предназначена для автоматического контроля и трехмерного измерения размеров в процессах полупроводниковой упаковки (корпусирования), производства жидкокристаллических плат, упаковки светодиодов (LED), а также для измерения золотых шариков (Gold Balls), контактных площадок (Bonding Pads) и золотых проволок (Gold Wires) в оптической связи.
Мощные функции фокусировки: Включает круговую фокусировку, многоточечную и много-дуговую высокоточную фокусировку, что обеспечивает точные и быстрые измерения.
Автоматизация: Поддерживает программируемое автоматическое измерение с функцией интеллектуального распознавания, а также круговое (360°) отслеживание и идентификацию золотых проволок.
Решение производственных задач: Позволяет выполнять программируемое автоматическое групповое измерение множества изделий, что повышает эффективность, точность и повторяемость контроля.
| Модель AG200 | |
|---|---|
| Измерительный диапазон (мм) | 200x200x150 |
| Габариты (мм) | 767x1093x1520 |
| Размер стеклянной столешницы (мм) | 270x270 |
| Масса нетто (кг) | 260 |
| Допустимая нагрузка на измерительный стол (кг) | 25 |
| Погрешность по осям X-Y (мкм) | 1.8 + L / 250 |
| Погрешность по оси Z (мкм) | 2.5 + L / 250 |
| Повторяемость по осям X-Y (мкм) | 1.8 |
| Повторяемость по оси Z (мкм) | 2.5 |
| Система измерения перемещений | Делительная линейка (шкала), "RSF" |
| Привод | Сервопривод, переменного тока, "Panasonic" |
| Оптическое увеличение | 0.6-5.0X автофокусный коаксиальный объектив + 10X металлографический объектив |
| Увеличение на изображении | 332X - 2770X (на 24-дюймовом дисплее) |
| Камера | ПЗС-матрица (CCD), цветная, 5 Мп, мишень 2/3", интерфейс USB 3.0 |
| Проходящий осветитель | Точечный источник света на базе LED с колимированным (параллельным) оптическим пучком, регулировка яркости (255 уровней) |
| Коаксиальный отражающий осветитель | Холодный LED-осветитель (белый свет), 5В, 10Вт |
| Измерительное ПО | PolyGauge, программное обеспечение для автоматического 3D-измерения по изображению |
| Дополнительные опции | Металлографические объективы 5X, 20X |
Заказ будет передан на доставку сразу после получения предоплаты согласно выбранному варианту оплаты. При доставке вам будут переданы все необходимые документы на покупку: товарный, кассовый чеки, а также гарантийный талон. Внимательно проверяйте товар на наличие механических повреждений при получении, чтобы в дальнейшем не возникло претензий. Конфиденциальность ваших регистрационных данных гарантируется.